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(原标题:艾森股份:PSPI光刻胶已进入小批量量产阶段) 来源:艾森股份官微。 光敏聚酰亚胺(PSPI)是兼有耐热性能与感光性能的一类高分子材料,同时具有电绝缘性,可保护半导体电路免受物理和化学条件的影响。 与传统非光敏PI相比,由于PSPI本身有着很好的感光性能,因此在使用时无需涂覆仅起工作介质作用的光刻胶,可以大大缩短工序,提高生产效率。目前被广泛应用于晶圆的钝化防护层、功率器件及IGBT的绝缘高温防护层、α射线屏蔽材料等,对器件的应用可靠性起关键作用。 目前PSPI的技术与市场主要由美国
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